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関連情報
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シングルアーム／ダブルアーム
アーム長 135mm／185mm
エンドエフェクターは真空吸着、把持、反転の各方式に対応。
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・2-12インチ対応のラインアップ
・最短4.9秒以内のウエハアライメントが可能
・ウエハの中心や角度等の補正動作と同時に、繰返し精度±0.1ｍｍの実現が可能
・クリーン度Class 1
・最短4.9秒以内のウエハアライメントが可能
・ウエハの中心や角度等の補正動作と同時に、繰返し精度±0.1ｍｍの実現が可能
・クリーン度Class 1
・8インチ、 12インチのFOUP/FOSBにダイレクトに対応。
・製品のクリーン度はClass 1。
フォトリソグラフィー、エッチング、CVD、PVD、洗浄、検査等、さまざまな半導体プロセス装置でご使用いただけます。
・関連する安全規制に準拠して、システムは緊急停止機能を提供し、電気制御システム、感知システム、真空システムなどのさまざまな機能モジュールをリアルタイムで監視。
ユーザーに最も包括的で安全な保護を提供いたします。
・ボールねじ、リニアガイドウェイなどのウエハロードポートの主要コンポーネントは、すべて当社で開発および製造。
ソフトウェアとハードウェアの垂直統合により、ユーザーのニーズに応じてカスタマイズも可能です。
・製品のクリーン度はClass 1。
フォトリソグラフィー、エッチング、CVD、PVD、洗浄、検査等、さまざまな半導体プロセス装置でご使用いただけます。
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産業全体の課題である自動化・省力化に。
■豊富な製品群をオールインワンでご提供。
産業用ロボットの重要部品を当社製でカバーすることで、コスト削減を実現。
さらにユニットやシステムでの納入で、購買や組立、品質保証、生産管理など、できる限りの点で貴社の工数削減をご提案します。
■手厚い技術サポート
神戸と東京に、ものづくり支援の拠点として「ロボット技術センター」を構えています。
ボトルネックになりがちなPoC概念検証から自動化システムの導入まで、当社の技術担当者がサポート。
ティーチングやサンプルプログラムの提供、保守メンテ担当者には法令に則った特別教育を受講いただくことも可能です。
■半導体製造装置向けサブシステムも
当社製DDモーターや高剛性クロスローラーベアリングを搭載したウエハ搬送ロボットのほか、EFEM、ウエハアライナー、ナノレベルの超精密ステージなどもラインアップ。
高い技術力を要する半導体製造装置向けサブシステムも当社で揃います。
■豊富な製品群をオールインワンでご提供。
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さらにユニットやシステムでの納入で、購買や組立、品質保証、生産管理など、できる限りの点で貴社の工数削減をご提案します。
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神戸と東京に、ものづくり支援の拠点として「ロボット技術センター」を構えています。
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■半導体製造装置向けサブシステムも
当社製DDモーターや高剛性クロスローラーベアリングを搭載したウエハ搬送ロボットのほか、EFEM、ウエハアライナー、ナノレベルの超精密ステージなどもラインアップ。
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ハイウィン株式会社
