シングルアーム／ダブルアーム
アーム長 135mm／185mm
エンドエフェクターは真空吸着、把持、反転の各方式に対応。
アーム長 135mm／185mm
エンドエフェクターは真空吸着、把持、反転の各方式に対応。
最終更新日:
2024-09-02 15:27:05.0
上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
高速・高精度・高剛性・高効率、そして省スペースを実現！ 2-12インチ対応【ウエハアライナー】のカタログです。
ハイウィンウエハアライナー(HIWIN Pre – Aligner)のHPAシリーズは3軸制御の製品で、 HIWIN単軸ロボットモジュールを採用し、高速、高精度、高剛性、高効率および省スペースを実現できます。
内蔵式コントローラーの設計(オールインワン)で、外にコントローラー配置及び配線スペースが不要で、同スペックのものでは、容積は業界最小です。
インテリジェントな透光性レーザーセンサーを搭載し、透明、半透明及び不透明等の物の輪郭が検知できます。直径最小2インチから、最大12インチまでのウエハ、ガラス等の対応ができます。
関連情報
・2-12インチ対応のラインアップ
・最短4.9秒以内のウエハアライメントが可能
・ウエハの中心や角度等の補正動作と同時に、繰返し精度±0.1ｍｍの実現が可能
・クリーン度Class 1
・最短4.9秒以内のウエハアライメントが可能
・ウエハの中心や角度等の補正動作と同時に、繰返し精度±0.1ｍｍの実現が可能
・クリーン度Class 1
・8インチ、 12インチのFOUP/FOSBにダイレクトに対応。
・製品のクリーン度はClass 1。
フォトリソグラフィー、エッチング、CVD、PVD、洗浄、検査等、さまざまな半導体プロセス装置でご使用いただけます。
・関連する安全規制に準拠して、システムは緊急停止機能を提供し、電気制御システム、感知システム、真空システムなどのさまざまな機能モジュールをリアルタイムで監視。
ユーザーに最も包括的で安全な保護を提供いたします。
・ボールねじ、リニアガイドウェイなどのウエハロードポートの主要コンポーネントは、すべて当社で開発および製造。
ソフトウェアとハードウェアの垂直統合により、ユーザーのニーズに応じてカスタマイズも可能です。
・製品のクリーン度はClass 1。
フォトリソグラフィー、エッチング、CVD、PVD、洗浄、検査等、さまざまな半導体プロセス装置でご使用いただけます。
・関連する安全規制に準拠して、システムは緊急停止機能を提供し、電気制御システム、感知システム、真空システムなどのさまざまな機能モジュールをリアルタイムで監視。
ユーザーに最も包括的で安全な保護を提供いたします。
・ボールねじ、リニアガイドウェイなどのウエハロードポートの主要コンポーネントは、すべて当社で開発および製造。
ソフトウェアとハードウェアの垂直統合により、ユーザーのニーズに応じてカスタマイズも可能です。
■半導体製造装置向け製品を、オールインワンでご提供
コンポーネントにとどまらない、サブシステムもご提供可能です。
中でも、ウエハ搬送ロボットは当社製DDモーターや高剛性クロスローラーベアリングを搭載。
主要コンポーネントは当社製品でカバーし、高性能とリーズナブルを両立します。
■手厚い技術サポート
神戸と東京に、ものづくり支援の拠点として「ロボット技術センター」を構えています。
実証実験や、ボトルネックになりがちなPoC概念検証を当社技術担当者がサポート。
ティーチングやサンプルプログラムの提供、保守メンテナンス担当者には法令に則った特別教育を受講いただくことも可能です。
コンポーネントにとどまらない、サブシステムもご提供可能です。
中でも、ウエハ搬送ロボットは当社製DDモーターや高剛性クロスローラーベアリングを搭載。
主要コンポーネントは当社製品でカバーし、高性能とリーズナブルを両立します。
■手厚い技術サポート
神戸と東京に、ものづくり支援の拠点として「ロボット技術センター」を構えています。
実証実験や、ボトルネックになりがちなPoC概念検証を当社技術担当者がサポート。
ティーチングやサンプルプログラムの提供、保守メンテナンス担当者には法令に則った特別教育を受講いただくことも可能です。
お問い合わせ
※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。
ハイウィン株式会社
