![HIWIN ウエハロードポート 製品画像](https://images.ipros.jp/public/product/image/df0/2000892777/IPROS50170797309762830599.jpeg?w=140&h=140)
・製品のクリーン度はClass 1。
フォトリソグラフィー、エッチング、CVD、PVD、洗浄、検査等、さまざまな半導体プロセス装置でご使用いただけます。
・関連する安全規制に準拠して、システムは緊急停止機能を提供し、電気制御システム、感知システム、真空システムなどのさまざまな機能モジュールをリアルタイムで監視。
ユーザーに最も包括的で安全な保護を提供いたします。
・ボールねじ、リニアガイドウェイなどのウエハロードポートの主要コンポーネントは、すべて当社で開発および製造。
ソフトウェアとハードウェアの垂直統合により、ユーザーのニーズに応じてカスタマイズも可能です。