最終更新日:
2022-02-08 14:28:22.0
上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
Al、Al合金膜を腐食することなく絶縁膜を良好にエッチングします。 エッチング加工用とSi自然酸化膜除去用を取り揃えています。
本製品の特長は以下のとおりです。
・ Al、Al合金を腐食しません。
・ 良好な順テーパーを形成します。
・ ウェットエッチングによるViaやPad形成に使用可能です。
Pure Etch 160( AlダメージレスSiエッチング液)の前処理液としても使用可能です。
キーワード:ウェットエッチング、SiO2、SiN、TEOS、シリコン酸化膜、シリコン窒化膜