最終更新日:
2022-02-08 14:35:37.0
上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
Al、Al合金またはMo、Mo合金の単膜や、Mo/Al/Mo、Mo合金/Al合金/Mo合金等の積層膜を良好にエッチングします。
本製品の特長は以下のとおりです。
・ 良好な順テーパーを形成します。
・ サイドエッチが少なく、微細パターンの形成が可能です。
・ エッチング速度とエッチング形状の面内均一性が良好です。
キーワード:ウェットエッチング、アルミニウム、モリブデン、AlCu、MAM、多層膜