最終更新日:
2022-02-08 14:36:31.0
上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
TiW膜を良好にエッチングします。成膜方法や膜構造によりエッチング性能が変化するため、詳しくはお問い合わせください。
本製品の特長は以下のとおりです。
・ 良好な順テーパーを形成します。
・ サイドエッチが少なく、微細パターンの形成が可能です。
・ エッチング速度とエッチング形状の面内均一性が良好です。
・ エッチング後の残渣がありません。
キーワード:ウェットエッチング、チタンタングステン