林純薬工業株式会社

電子材料部

Auエッチング液標準品、Auシード層エッチング液 「Pure Etch AU series」

最終更新日: 2022-02-08 14:33:01.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

Au膜を良好にエッチングします。Auめっき膜へのダメージ少なく、Auシード層をエッチングするシード層用エッチング液もあります。
本製品の特長は以下のとおりです。
・ 低温、短時間での処理が可能です。
・ エッチング速度とエッチング形状の面内均一性が良好です。
・ 微細なバンプ形成やパターン形成プロセスに適しています。

キーワード:ウェットエッチング、金、めっき、シード層、選択エッチング液

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