最終更新日:
2022-02-08 14:25:39.0
上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
Cuめっき/Cuシード構造に対して、Cuめっき配線やバンプへのダメージ少なく、Cuシード層をエッチングします。
本製品の特長は以下のとおりです。
・ Cuめっきの細りが少ないです。
・ Cuの表面荒れが少ないです。
・ さまざまなシード層に適用可能です。(無電解銅めっき~スパッタ銅)
・ Dip方式、Spray方式、Spin方式と多様な方式に対応しています。
キーワード:ウェットエッチング、銅、めっき、シード層、選択セミアディティブ法