上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
3CCD 200万画素カラーカメラを標準採用することにより、優れた検出能力の「カラー画像処理方式 ウエハ・チップ外観検査装置」
関連情報
ウエハ・チップ外観検査装置
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【特長】
○ウエハ工程、ダイシング工程で発生する外観欠陥を、高速かつ高精度で検査が可能
○多様なパターンのチップの検査が可能
○品種毎に可変の画像分解能(1.5~5µ)で検査が可能
○組込用顕微鏡を使用してサブミクロンの分解能での検査が可能(オプション)
○画像特徴量の複合的な条件にて不良の分類分けが可能
○一回で複数のレシピ(異なる画像分解能・照明・判定プログラム)を
使用した検査が可能
○オートローダーで連続供給、高速なNGチップの排除機構を装備
○厚みの公差が150µmあるワークでも検査・排除可能
(高速な高さ測定、高さ補正機能付き)
○全数の排除ミス・マーキングミスチェック機能あり(オプション)
○シート越しでの裏面検査が可能(オプション)
○NGマーキング(インカー・レーザーマーカー)、バーコード自動読み取り可能
(オプション)
○廉価タイプとしてオートローダーや排除機構を装備しないHS-256Gもあります
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株式会社ヒューブレイン