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おすすめ情報

『蒸気2流体洗浄装置 ハンディガンタイプ』

30μm以下の水滴と蒸気の超音速噴射で、切削油など頑固な汚れもしっかり除去。狭い場所でも洗浄OK

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• 蒸気洗浄装置   (11)

  

  エッチング後のポリマ除去ができる金属汚染のない「ASTE」をはじめ、「VALIUS」や、「BEUGA」などをご用意しています。
• オゾン水洗浄装置   (1)

  

  イオン注入後のレジスト剥離が可能。残渣なし、下地膜（Si、SiO₂ など）を膜べりなしで剥離できます。硫酸過水、アンモニア過水等の薬液洗浄工程をなくすことで、ランニングコストおよび工程数を削除できます。

注目製品

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  動画で紹介【超音速スチーム洗浄装置】

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  蒸気2流体洗浄ユニット「SSCシリーズ」

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  水蒸気2流体洗浄と超音波・高圧洗浄の異物除去率の比較公開中