株式会社ハイブリッジ

東京営業所

ターボ分子ポンプ排気装置『HUVSシリーズ』

最終更新日: 2023/07/13
排気速度250L/秒と77L/秒から選べるターボ分子ポンプ排気装置!ポンプや真空計の組合せは自由に選択可能です!

『HUVSシリーズ』は、高圧縮比(圧縮比1×10の11乗)のターボ分子ポンプ
を採用したターボ分子ポンプ排気装置です。排気速度250L/秒と77L/秒の
2種類をラインナップ。フルレンジ真空計を標準で搭載。
ターボ分子ポンプ・ロータリーポンプ同時起動とロータリーポンプ単独起動
の切替機能も装備しております。

【特長】
■ラインナップは排気速度250L/secと77L/secの2機種をご用意
■高圧縮比(1×10の11乗のターボ分子ポンプを採用)
■ターボ分子ポンプ・ロータリーポンプ同時起動と
 ロータリーポンプ単独起動の切替機能付き
■フルレンジ真空計を標準搭載(表示はTMPコントーラ)
■任意メーカの排気ポンプを選定可能
■停電時の逆流防止対策でフォアバルブは自動リークバルブを搭載

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。

基本情報

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