i CAD株式会社

- 機械設計向け3DCAD(3次元CAD)開発元 -

半導体製造装置設計に求められる3DCADとは?

最終更新日: 2024/03/06
半導体設備開発のリードタイム短縮を実現する3次元CAD!300万部品0.2秒で扱える超高速レスポンスを実現

近年、半導体製造装置開発では、求められる機能の複雑化に伴い、
扱う部品数が膨大となっています。
そのため、限られた空間内に各種機構装置を
いかに効率的に配置するかが最大の課題となっています。

『iCAD SX V8』は、日本のモノづくりを支えるために
機械設計に特化して開発する国産3次元CADです。

iCADは300万部品を0.2秒で扱える高速レスポンスを実現しており、
数万点にも及ぶ半導体製造装置全体の設計検討・検証をストレスなく行うことが出来ます。

膨大な情報量を扱える性能を活かし、配管、配線、制御(動き)を含め、
装置開発に必要な設計情報を一つのCADデータに蓄積し活用することが可能です。
一つのデータで設計~製造・組立、保守・メンテナンスに
至る様々な場面・部門でデータが活用できます。

※半導体製造装置メーカの事例は、特設サイトにて限定公開中です。
 以下リンクをクリックして、ダウンロードしてください。

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基本情報

【特長】
■数多くの半導体製造装置トップメーカーが採用
■設計のみでなく、装置開発全体のリードタイムを大幅短縮
■干渉ゼロ、手戻り大幅削減の実績あり
 (設計時間25%短縮や出図までの工数を20%削減した事例あり)
■メカのみでなく、配管、配線、制御(動き)の設計を一つのツール
 (iCADのみ)で実現

【3次元CADで設計しようとした時の困り事】
■膨大な部品点数を扱うとレスポンスが悪くなり、装置全体での検討・検証が難しい
■レイアウトが定まっていない段階(設計変更が都度発生する)では、条件が確定していないため、部品構成を
 先に決定しなければならないヒストリー系の3DCADでは構想検討出来ない(拘束条件・履歴がネック)
■メカと配管は別のツールで検討するしかなく、互いの取り合いを確認しながらの検討が出来ない

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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用途/実績例 【用途】
■半導体製造装置の設計
■各種設計検証(干渉、動作)
■各付帯作業の自動化(帳票、部品表の自動出力、エラーチェック)
■組立手順の可視化、ノウハウ蓄積

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