【採用メリット】
■ガラス基板位置決め時の摩擦抵抗値が従来のピン方式の約1/10に低減
■長期的に安定した低摩擦抵抗で、ガラス基板のアライメントが可能
■摩擦抵抗値の低下により、ガラス基板の割れが極端に減少
■ローダー、アンローダー部や各処理工程での歩留まり改善が可能
■摩耗の為に日々必要となっている接触部材の交換作業が大幅に低減
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■ガラス基板位置決め時の摩擦抵抗値が従来のピン方式の約1/10に低減
■長期的に安定した低摩擦抵抗で、ガラス基板のアライメントが可能
■摩擦抵抗値の低下により、ガラス基板の割れが極端に減少
■ローダー、アンローダー部や各処理工程での歩留まり改善が可能
■摩耗の為に日々必要となっている接触部材の交換作業が大幅に低減
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。