株式会社井口機工製作所

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クリーンルーム用位置決めステージユニット『ILS型』

最終更新日: 2023-03-30 16:45:33.0
可動部をホールドできるSタイプやその他昇降式タイプも!コンパクトにもかかわらず大きい荷重を受けることが可能!

『ILS型』は、主にガラス基板搬送用カセットを、シンプルに位置決めする
ステージユニットです。

滑るように全方向に移動できる当製品は、コンパクトにもかかわらず
大きい荷重を受けることが可能。非常にスムースな動きでカセットを
位置決めできます。

また、フリータイプの「ILS-150」や、ストッパータイプの「ILS-30S-40」や
「ILS-30S-60」の他、昇降式タイプなどもご用意しています。

【特長】
■滑るように全方向に移動できる
■コンパクト
■大きい荷重を受けることが可能
■特許取得済み

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報

【ラインアップ(抜粋)】
■フリータイプ
・ILS-150
■ストッパータイプ
・ILS-30S-40
・ILS-30S-60
■昇降式フリータイプ
・ILS-350-H10
■昇降式ストッパータイプ
・ILS-350S-H10

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 【用途】
■クリーンルーム用

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