最終更新日:
2024-05-09 15:18:34.0
インコネル製ロックリコイルで省スペース下の回転ゆるみ対策を提案した事例
半導体製造装置メーカーへ『インコネルロックリコイル』を提案した
事例をご紹介いたします。
研磨工程で支えていたウエハーが落下して割れてしまい、さらに部品を
回収したところ、めねじに挿入しているワイヤーインサートに錆が
発生していました。
提案後、施策を経て量産採用され、数年経過しましたが、いまだ
ゆるみや錆は発生しておりません。
【事例概要】
■課題
・研磨工程で支えていたウエハーが落下して割れてしまった
・めねじに挿入しているワイヤーインサートに錆が発生していた
■課題解決の要件
・回転ゆるみに対して効果的な対策であること
・耐薬品性に優れた材質であること
※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【ユーザーメリット】
■回転ゆるみが解消された
■ガスによる錆の問題が解消された
■締結スペース及びコンタミの問題をクリアできた
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池田金属工業株式会社