アイセルグループ株式会社

『X・Y・θアライメントステージ』

最終更新日: 2022-11-04 19:01:48.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

3つのアクチュエータを同一平面上に配置する事により薄型化!シンプル構造!
『X・Y・θアライメントステージ』は、テーブル送りに超高精度直動
アクチュエータ“ミリオンアクチュエータ”を採用することで高精度送りを
実現した製品です。

テーブル案内にはローラー式直動ガイド「ミリオンガイド」を採用。
高剛性と低振動の両立を実現しました。

【特長】
■高精度
■高剛性
■超薄型・シンプル構造
・テーブル中央に穴を設けており、光を通す事も可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連情報

『X・Y・θアライメントステージ』
『X・Y・θアライメントステージ』 製品画像
【仕様】
■型式:MSX230
■駆動方式:ミリオンアクチュエータ GMA2815M ×3
■ストローク
・X軸、Y軸:±7.5mm
・θ軸:±7°
■テーブルサイズ:230×230mm
■ベースサイズ:310×310mm
■高さ:80mm
■定格速度:10mm/sec
■最高速度:50mm/sec

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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