アイセルグループ株式会社

『ミリオンアクチュエータ』

最終更新日: 2023-12-18 17:44:18.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

「3 つの1㎛ 」を実現する高精度・高剛性直動アクチュエータ
ミリオンガイドを搭載した「1㎛の剛性」「1㎛の送り精度」「1㎛の直進性」を持つ
高精度・高剛性な直動アクチュエータです。

繰り返し位置決め精度はX・Y・Z全方向±1.0㎛以下を実現しており、
サブミクロン単位での微小送りや微小位置決めが可能なため、
光学機器のレンズやミラー調整、半導体製造装置用ステージなどの用途に最適です。

サイズは最小1 5角からと省スペースで、各種カスタム対応が可能です。
モータレスでの販売も実施しており、お好みのモータを取り付けることも可能です。

【特徴】
1. 超高精度化
今まで不可能だった1㎛単位の高精度位置決めで製品精度向上。

2. 省スペース
コンパクトな構造で場所を取りません。

3. 工数削減
一体構造で設計の手間を削減。
取り付けも簡単なので組立時間の短縮も可能です。

※詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。

関連情報

ミリオンアクチュエータ 超小型15角サイズ【ミリオンガイド搭載】
ミリオンアクチュエータ 超小型15角サイズ【ミリオンガイド搭載】 製品画像
【高精度直動アクチュエータ『ミリオンアクチュエータ』とは】
■位置決め精度 ±1μmを実現したリニアアクチュエーターです。
■ガイド部にローラー式ミリオンガイドを採用しているため、他社ボールガイド採用のアクチュエータと比べ、剛性が 10 倍以上!
■振動も少なくなめらかなため、XY 方向繰り返し精度も3倍以上!
■ステッパーなど、各種光学機器のレンズ・ミラー移動や微少角度調整、カメラ・センサの位置調整といった微調整用途に好適です。
高精度直動アクチュエータ『ミリオンアクチュエータ』
高精度直動アクチュエータ『ミリオンアクチュエータ』 製品画像
【用途】
■スラッパー等各種光学機器のレンズ・ミラー移動、微少角度調整
■アライメントステージのX・Y・θ軸の調整
■カメラ、センサーの位置調整
■顕微鏡、望遠鏡のレンズ・ミラー調整
■テーブルの位置決め
■半導体、液晶製造装置
■各種自働機、試験装置 など

【詳しくはカタログダウンロードまたはお気軽にお問い合わせください】
超小型・高精度アクチュエータ『ミリオンアクチュエータ 20角』
超小型・高精度アクチュエータ『ミリオンアクチュエータ 20角』 製品画像
【用途】
■スラッパー等各種光学機器のレンズ・ミラー移動、微少角度調整
■アライメントステージのX・Y・θ軸の調整
■カメラ、センサーの位置調整
■顕微鏡、望遠鏡のレンズ・ミラー調整
■テーブルの位置決め
■半導体、液晶製造装置
■各種自働機、試験装置 など

【詳しくはカタログダウンロードまたはお気軽にお問い合わせください】
『ミリオンガイド』スペックブック
『ミリオンガイド』スペックブック 製品画像
【ミリオンガイドの特徴】

■高剛性
“点接触から線接触へ”高精度な幅広ローラ採用により、
従来のボールタイプに比べ10倍以上※の高剛性を実現しました。
※当社調べ 一般的なボール循環式スプライン軸との比較です。
一般的な金型用ボールリテーナ式ガイドポストと比較した場合、差は2倍程度となります。

■高精度
高剛性、低振動を実現したミリオンガイドは優れた直進性を持ち、
特に繰り返し精度はボールタイプと比べ3倍以上の精度を実現しました。

■低振動
高精度な幅広ローラ採用により、剛性を保ちながら低予圧化に成功。
これにより、超低振動でスムーズなころがりを実現しました。

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