【高精度直動アクチュエータ『ミリオンアクチュエータ』とは】
■位置決め精度 ±1μmを実現したリニアアクチュエーターです。
■ガイド部にローラー式ミリオンガイドを採用しているため、他社ボールガイド採用のアクチュエータと比べ、剛性が 10 倍以上!
■振動も少なくなめらかなため、XY 方向繰り返し精度も3倍以上!
■ステッパーなど、各種光学機器のレンズ・ミラー移動や微少角度調整、カメラ・センサの位置調整といった微調整用途に好適です。
■位置決め精度 ±1μmを実現したリニアアクチュエーターです。
■ガイド部にローラー式ミリオンガイドを採用しているため、他社ボールガイド採用のアクチュエータと比べ、剛性が 10 倍以上!
■振動も少なくなめらかなため、XY 方向繰り返し精度も3倍以上!
■ステッパーなど、各種光学機器のレンズ・ミラー移動や微少角度調整、カメラ・センサの位置調整といった微調整用途に好適です。