転動体にニードルローラを採用することで、高精度な直進性を実現した
ローラガイド『ミリオンガイド』に、真空用『V-GNシリーズ』が新登場。
オールステンレス製で、ベーキングに要求される熱やガスなどへの対策を実施。
大気圧から10-5Paまでの真空環境に対応可能です。
【ポスト・ブシュ・ローラの特長】
■マルテンサイト系ステンレス鋼を採用
■特殊熱処理により耐熱性を向上(ベーキング温度最高200℃まで対応)
■表面処理にバフ研磨を採用。アウトガスの発生を抑制
【その他の特長】
■オーステナイト系ステンレス鋼をリテーナに採用
■フッ素系真空グリース(ダイキン工業製 デムナムL200)を採用
※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
基本情報
【使用用途例】
・半導体製造装置
・FPD製造装置
・真空薄膜作製装置
・ストレージデバイス装置 など
【対応シリーズ】
GNZ・GNG・GNS・GNSH・ZG
※シリーズに関しては当社HP(http://isel.jp/mg/mg.htm)をご覧ください。
お問い合わせもお気軽にどうぞ。
価格帯 | お問い合わせください |
---|---|
納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | ※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。 |
関連カタログ
お問い合わせ
※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。
アイセルグループ株式会社