アイセルグループ株式会社

『X・Y・θアライメントステージ』

最終更新日: 2024-03-15 17:35:29.0
3つのアクチュエータを同一平面上に配置する事により薄型化!シンプル構造!

『X・Y・θアライメントステージ』は、テーブル送りに超高精度直動
アクチュエータ“ミリオンアクチュエータ”を採用することで高精度送りを
実現した製品です。

テーブル案内にはローラー式直動ガイド「ミリオンガイド」を採用。
高剛性と低振動の両立を実現しました。

【特長】
■高精度
■高剛性
■超薄型・シンプル構造
・テーブル中央に穴を設けており、光を通す事も可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報

【仕様】
■型式:MSX230
■駆動方式:ミリオンアクチュエータ GMA2815M ×3
■ストローク
・X軸、Y軸:±7.5mm
・θ軸:±7°
■テーブルサイズ:230×230mm
■ベースサイズ:310×310mm
■高さ:80mm
■定格速度:10mm/sec
■最高速度:50mm/sec

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 【用途】
■半導体製造・検査装置
■液晶パネル製造・検査装置
■スクリーン印刷機 など

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