伊藤忠マシンテクノス株式会社

ウェハ外観検査装置『ED-Scope』

最終更新日: 2020-08-04 18:49:12.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

関連情報

ウェハ外観検査装置『ED-Scope』
ウェハ外観検査装置『ED-Scope』 製品画像
【その他の特長】
■深さ(Z方向)はナノレベル、視野範囲(XY方向)はマクロ観察が可能
■面粗さの管理・研磨条件の設定も可能
■蒸着後の歩留まりが確実に向上
■試料形態は、反射試料から透過試料まで多種多様
■機能性フィルム材料などの透明体も検査可能

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