最終更新日:
2024-05-16 15:45:18.0
ウェハ検査の常識を変える！誰でも簡単且つ定量的に目視検査・評価することが可能です
『ED-Scope』は、目視確認できなかった欠陥を可視化し、欠陥検査時間を
大幅に短縮するウェハ外観検査装置です。
オプティテック社独自の光学系技術と画像処理技術をコラボさせることにより、
これまで検査しても発見が難しかった欠陥を液晶モニター上に浮き上がらせます。
また、深さ(Z方向)はナノレベル、視野範囲(XY方向)はマクロ観察が可能となり、
短時間で欠陥を検出することが可能になりました。
【特長】
■目視確認できなかった欠陥を可視化
■欠陥検査時間を大幅に短縮
■広視野で観察可能(視野H：136mm)
■AIソフトで自動欠陥検出機能を搭載可
■誰でも簡単且つ定量的に目視検査・評価
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【その他の特長】
■深さ(Z方向)はナノレベル、視野範囲(XY方向)はマクロ観察が可能
■面粗さの管理・研磨条件の設定も可能
■蒸着後の歩留まりが確実に向上
■試料形態は、反射試料から透過試料まで多種多様
■機能性フィルム材料などの透明体も検査可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
関連カタログ
お問い合わせ
※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。
伊藤忠マシンテクノス株式会社
