最終更新日:
2024-05-16 15:45:48.0
ウェハ搬送ロボから自動外観検査装置まで、半導体用各種装置をご紹介！
伊藤忠マシンテクノスが取り扱う、アテル株式会社の『ウェハ欠陥検査装置』を
ご紹介します。
全ての裏面プロセスを全自動で欠陥検出可能な「ウェハ裏面(表面)専用自動
欠陥検出装置」をはじめ、「ウェハ外観検査マクロミクロ装置」や
「卓上ローダー・ソーター装置」など、多種多様な装置を取り揃えております。
【ウェハ裏面 欠陥検出内容】
■バックグラインド工程による加工時の欠陥
■ハンドリング時の欠陥
■薄型ウェハ、貼り合わせ工程の欠陥
■ウェハ裏面メタル工程による欠陥
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【ラインアップ】
■ウェハ外観検査マクロミクロ装置
■300mmウェハ用外観検査マクロミクロ装置
■ローダー・ソーター装置
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