最終更新日:
2021-12-24 16:37:16.0
ツインエアー方式！独自技術のセルフサックバックで液だれ、濡れ上がり無し
『Twin-air』は、極微量滴下を可能にしたツインエアー方式の
高精細ディスペンサーです。
ポリイミド使用量を削減し、大幅なコスト削減。必要な位置に、必要な量を、
高精度にコーティング可能です。
また、ウエハ全面にパッシベーション厚膜コートを実現し、様々な高粘度液剤の
塗布に対応しています。
【特長】
■ピコリットルオーダーの極微小吐出が可能
■モジュール／チップレベルのダイレクト・コーティング
■エッジカット処理（リンス工程）不要、廃液ゼロ
■ガードリング形成・局所コートでフォトリソ工程不要
■数十～70万cps以上という低～超高粘度まで対応
■吐出中の液流、着液前後のモニタリングが可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【ラインアップ】
■試作・量産自動化・特注システム対応『WL／CLシリーズ』
■量産用途『ES30シリーズ』
■R&D・生産用『RDXシリーズ』
■卓上用『ESAJシリーズ』
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