株式会社アイテス

【Cheetah EVO導入事例】IC型コイルの観察

最終更新日: 2023-01-12 17:18:58.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

透過観察と異なりコイル配線の巻具合なども判断出来る事例のご紹介!
当社は、X線透視・CT検査装置「Cheetah EVO」を導入し、
IC型コイルの観察を行いました。

X線による観察では、目的に応じた手法を用いる事で内部の構造を
明確に捉える事ができます。

透過観察では金属異物などを素早く捉える事ができ、CT観察では立体的に
任意の断面の像が得られる為、位置情報や形状が重要な観察に適します。

【事例】
■IC型コイルの観察事例

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連情報

X線透視・CT検査装置『Cheetah EVO』
X線透視・CT検査装置『Cheetah EVO』 製品画像
【事例】
・X線透視・CT検査装置(リフローシミュレータ)【動画あり】
・X線透視・CT検査装置(BGAはんだクラック解析事例)
・X線透視・CT検査装置(LED不良透視観察事例)【動画あり】など

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
Cuワイヤボンディングの接合界面について
Cuワイヤボンディングの接合界面について 製品画像
【その他の掲載内容(抜粋)】
■被覆Pdの確認
■Cuグレインの観察
■Cu-Al化合物の確認
■Al電極上の酸化膜の確認
■接合中央部のCu-Al化合物と微小ボイド
■接合中央部の化合物とボイドの特徴的配列
■Cu-Al化合物の成長(拡散)
■パッケージ開封後のAl接合面の観察

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【資料】Cuワイヤボンディングの接合界面について
【資料】Cuワイヤボンディングの接合界面について 製品画像
【その他の掲載内容(抜粋)】
■結果及び考察
・ボンディング部の観察
・断面作製法の選択
・被覆Pdの分布
・EBSDによるCuグレインの観察
・Cu-Al接合界面
・開封エッチング後のAl 接合面の観察

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
積層基板の斜めCT観察
積層基板の斜めCT観察 製品画像
【積層基板の観察事例(斜めCT観察)】
■Cheetah EVOでは、凹凸が少なく大きさが200mmほどの試料であれば破壊することなく、
 そのままCT観察することが可能
■X線による透過観察では、斜めCTで像を取得することで各層のパターンを確認することが可能
■測長ツールを用いることで長さを測定することもできる
■測定結果は光学顕微鏡像の測定結果に対し約7~14%の差が見られたが、非破壊で内部構造を
 把握したいという場合には有効

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