株式会社アイテス

EPMA分析における7つの分光結晶

最終更新日: 2023-01-12 17:18:20.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

関連情報

Cuワイヤボンディングの接合界面について
Cuワイヤボンディングの接合界面について 製品画像
【その他の掲載内容(抜粋)】
■被覆Pdの確認
■Cuグレインの観察
■Cu-Al化合物の確認
■Al電極上の酸化膜の確認
■接合中央部のCu-Al化合物と微小ボイド
■接合中央部の化合物とボイドの特徴的配列
■Cu-Al化合物の成長(拡散)
■パッケージ開封後のAl接合面の観察

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ガイドネットマップ法を用いたEPMA分析例
ガイドネットマップ法を用いたEPMA分析例 製品画像
【分析例】
<錠剤表面の元素分析>
■2×2や3×3など任意に測定範囲を分割し、測定することによって、広範囲の測定が可能になる
■高低差があるため、SEM-EDXでの測定は局所的になってしまい、錠剤表面の元素分布の把握が困難
<面分析(3×3mm範囲でSiの面分析)>
■通常測定では試料中央の凸部にフォーカスが合わず正しい分布が得られない
■ガイドネットマップ法を用いることで、高低差の影響を受けることなく正しい分布を得ることができた

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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