【装置仕様】
■温度範囲：100-350℃（精度±0.2℃）
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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関連情報
半導体製品の一連の工程のサンプル作製から信頼性評価試験、分析故障解析までトータルのソリューションを提供します。必要なサービスを必要なだけ、ご利用いただけます。
トータルソリューションとは、半導体製品に関わる部品・装置・材料の開発評価の困難（評価試料が準備できない／評価方法が不明、事前データが無い等）試料作製から、評価・解析まで御支援します。
【試料作製】
●ウェハ工程
■汎用TEGの手配
■ダイシング
■チップソート
■外観検査
■梱包（チップトレイ・エンボステーピング）
●パッケージング工程
■ダイボンディング
■ワイヤボンディング
■フリップチップ実装
■バンプ接合
■パッケージ組立
トータルソリューションとは、半導体製品に関わる部品・装置・材料の開発評価の困難（評価試料が準備できない／評価方法が不明、事前データが無い等）試料作製から、評価・解析まで御支援します。
【試料作製】
●ウェハ工程
■汎用TEGの手配
■ダイシング
■チップソート
■外観検査
■梱包（チップトレイ・エンボステーピング）
●パッケージング工程
■ダイボンディング
■ワイヤボンディング
■フリップチップ実装
■バンプ接合
■パッケージ組立
電子部品の企画・設計・開発段階から、量産、出荷後に至るまで、あらゆるフェーズで発生する品質問題に、長く培われた技術と経験をもとにスピーディーで的確なソリューションを提供します。
■パワーデバイスの信頼性試験
・パワーサイクル試験
定電流600A max.(Vce=10V)
同時に熱抵抗測定も可能
・180℃対応 液槽熱衝撃試験
温度範囲 -65℃～150℃、-40℃～180℃
液媒体 Galden D02TS/D03
試料かご（最大） W320ｘH240ｘD320(mm）
・パワーデバイスアナライザによる特性評価
最大電圧 3000V、最大電流 20A
小型の部品からパワーデバイスまで幅広く対応
・絶縁性評価イオンマイグレーション試験
高温高湿環境下で、実使用条件より高い電圧を印加して加速試験を実施
パワーデバイスの保証寿命範囲内でマイグレーションが発生しないことを確認する試験
・高温逆バイアス/ゲートバイアス試験
高温高湿環境下の絶縁抵抗値の連続モニター
チャネル数 120チャネル
■パワーデバイスの分析・解析
・パワーチップの故障解析
・はんだ接合部の解析
・極低加速特殊SEMによるAlワイヤーのグレイン観察
・半導体・パッケージ剥離部の非破壊観察
・パワーサイクル試験
定電流600A max.(Vce=10V)
同時に熱抵抗測定も可能
・180℃対応 液槽熱衝撃試験
温度範囲 -65℃～150℃、-40℃～180℃
液媒体 Galden D02TS/D03
試料かご（最大） W320ｘH240ｘD320(mm）
・パワーデバイスアナライザによる特性評価
最大電圧 3000V、最大電流 20A
小型の部品からパワーデバイスまで幅広く対応
・絶縁性評価イオンマイグレーション試験
高温高湿環境下で、実使用条件より高い電圧を印加して加速試験を実施
パワーデバイスの保証寿命範囲内でマイグレーションが発生しないことを確認する試験
・高温逆バイアス/ゲートバイアス試験
高温高湿環境下の絶縁抵抗値の連続モニター
チャネル数 120チャネル
■パワーデバイスの分析・解析
・パワーチップの故障解析
・はんだ接合部の解析
・極低加速特殊SEMによるAlワイヤーのグレイン観察
・半導体・パッケージ剥離部の非破壊観察
■LEDの信頼性試験
・光学特性評価 -紫外光域/可視光域 対応-
LED製品の光学特性値は、製品の検査及び品質状態の把握に利用可能
・電気特性評価
LEDの電気的な不良或いは劣化の状態を把握
・高温動作試験・高温高湿動作試験
In-Situ常時測定装置の使用により、試験動作中の電圧モニターを実施可能
・信頼性試験
LEDの使用環境を考慮した信頼性試験評価の実施
・点灯試験
単体のLEDデバイスから1200mm蛍光灯管サイズまで試験可能
・非破壊検査
X線によるLED内部構造の透過観察を実施
・ESD試験
HBM(人体モデル）とMM（機械モデル）の2種類
■LEDの分析・解析
・LED不良モードの切り分け
不具合部位を特定、最適な解析手法をご提案
・順方向、逆方向バイアスに対応した発光解析
様々な手法にて、LEDのリーク箇所を検出
・LED素子の裏面研磨と裏面発光解析
リーク箇所の断面観察より、リーク発生原因を解析
・橙色LEDの構造解析例
断面SEM観察より、構造を解析
・光学特性評価 -紫外光域/可視光域 対応-
LED製品の光学特性値は、製品の検査及び品質状態の把握に利用可能
・電気特性評価
LEDの電気的な不良或いは劣化の状態を把握
・高温動作試験・高温高湿動作試験
In-Situ常時測定装置の使用により、試験動作中の電圧モニターを実施可能
・信頼性試験
LEDの使用環境を考慮した信頼性試験評価の実施
・点灯試験
単体のLEDデバイスから1200mm蛍光灯管サイズまで試験可能
・非破壊検査
X線によるLED内部構造の透過観察を実施
・ESD試験
HBM(人体モデル）とMM（機械モデル）の2種類
■LEDの分析・解析
・LED不良モードの切り分け
不具合部位を特定、最適な解析手法をご提案
・順方向、逆方向バイアスに対応した発光解析
様々な手法にて、LEDのリーク箇所を検出
・LED素子の裏面研磨と裏面発光解析
リーク箇所の断面観察より、リーク発生原因を解析
・橙色LEDの構造解析例
断面SEM観察より、構造を解析
■高度加速寿命試験
内寸（最大） Φ545×L550mm
温湿度範囲 +105～162.2℃/75～100%RH
■冷熱衝撃試験
内寸（最大） W970×H460×D670mm
温度範囲 -65℃～0℃/+60℃～200℃
■恒温恒湿試験
内寸（最大） W1000×H1000×D720mm
温湿度範囲 -70℃～+150℃/20～98%RH
■液槽冷熱衝撃試験
試料カゴ（最大） W320×H240×D320mm
耐荷重（最大） 10kg
温度範囲 -65℃～0℃/+60℃～150℃
内寸（最大） Φ545×L550mm
温湿度範囲 +105～162.2℃/75～100%RH
■冷熱衝撃試験
内寸（最大） W970×H460×D670mm
温度範囲 -65℃～0℃/+60℃～200℃
■恒温恒湿試験
内寸（最大） W1000×H1000×D720mm
温湿度範囲 -70℃～+150℃/20～98%RH
■液槽冷熱衝撃試験
試料カゴ（最大） W320×H240×D320mm
耐荷重（最大） 10kg
温度範囲 -65℃～0℃/+60℃～150℃
■LCD製品の信頼性試験
豊富な試験メニュー
試験前後の目視検査
によりお客様の負担を軽減
■LCD製品の不具合解析
故障モード、関連領域、分析・解析対象、主な手法を独自で関連付け
迅速・的確な解析を実現します
豊富な試験メニュー
試験前後の目視検査
によりお客様の負担を軽減
■LCD製品の不具合解析
故障モード、関連領域、分析・解析対象、主な手法を独自で関連付け
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※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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【分析対象物の例】
■オイル
・各種成分の定性
■プラスチックやフィルム、ゴム製品、基板等
・添加剤や残存溶剤等の定性分析(ヘッドスペース、又はパイロライザー)
・分解温度での発生ガス分析から、ポリマー種を推定(パイロライザー)
■液晶
・サンプル間での比較により、微量不純物を定性
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■オイル
・各種成分の定性
■プラスチックやフィルム、ゴム製品、基板等
・添加剤や残存溶剤等の定性分析(ヘッドスペース、又はパイロライザー)
・分解温度での発生ガス分析から、ポリマー種を推定(パイロライザー)
■液晶
・サンプル間での比較により、微量不純物を定性
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【試験例】
■温度サイクル試験
・実環境に近いストレスを与えることが可能
・高い冷却能力を持っているため、発熱の多い試料でも温度の維持ができる
■温湿度サイクル試験（結露試験）
・温度サイクルに湿度も合わせて制御する、温湿度サイクル試験に対応可能
・試験内容に沿ってプログラムの設定を行う
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■温度サイクル試験
・実環境に近いストレスを与えることが可能
・高い冷却能力を持っているため、発熱の多い試料でも温度の維持ができる
■温湿度サイクル試験（結露試験）
・温度サイクルに湿度も合わせて制御する、温湿度サイクル試験に対応可能
・試験内容に沿ってプログラムの設定を行う
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【分析事例】
■液晶パネルに使用されている偏光板は、トリアセチルセルロース層で
ポリビニルアルコール（PVA）にヨウ素を添加した層を挟んだ構造
■顕微ラマン分光光度計にて偏光板を深さ方向に連続して測定したところ、
表面から深さ方向に向かってTAC→PVA+I2→TAC→粘着層と変化する様子が観察できた
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■液晶パネルに使用されている偏光板は、トリアセチルセルロース層で
ポリビニルアルコール（PVA）にヨウ素を添加した層を挟んだ構造
■顕微ラマン分光光度計にて偏光板を深さ方向に連続して測定したところ、
表面から深さ方向に向かってTAC→PVA+I2→TAC→粘着層と変化する様子が観察できた
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【その他の特長】
＜観察装置例＞
■レーザーマイクロスコープ
■X線CT
■特殊SEM（ULTRA55）
■FIB-SEM
＜信頼性試験装置例＞
■液槽冷熱試験装置
■気槽冷熱試験装置
■恒温恒湿試験装置
■プレッシャークッカー
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＜観察装置例＞
■レーザーマイクロスコープ
■X線CT
■特殊SEM（ULTRA55）
■FIB-SEM
＜信頼性試験装置例＞
■液槽冷熱試験装置
■気槽冷熱試験装置
■恒温恒湿試験装置
■プレッシャークッカー
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【掲載分析サンプル】
■ポリエチレン
■ポリプロピレン
■ポリスチレン
■塩化ビニル（塩ビ）
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■ポリプロピレン
■ポリスチレン
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株式会社アイテス
