株式会社アイテス

【資料】光学顕微鏡とSEMの使い分け

最終更新日: 2023-01-12 17:17:50.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

関連情報

デジタルマイクロスコープによる外観観察
デジタルマイクロスコープによる外観観察 製品画像
【傾斜観察概要】
<デジタルマイクロスコープ:KEYENCE VHX-5000(使用レンズVH-Z50L)使用>
■-60°~+90°まで傾斜可能なレンズ機構により、実装部品の
 側面などをそのまま観察することが可能
■深度合成機能を持つデジタルマイクロスコープにより、
 サンプル全体に焦点のあった合成画像が取得できる
■電動ステージにより、高倍での連結画像の作成が可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
SEM-EDX分析時の加速電圧の違いによる検出感度
SEM-EDX分析時の加速電圧の違いによる検出感度 製品画像
【EDX分析結果】
■加速10kVではAuめっき下層のNiは検出されていないが、加速電圧12kV以上だと
 下層のNiが検出されている
■加速電圧を上げると何故、下層の情報を検出するのか、モンテカルロ
 シミュレーションにて確認

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