![蒸気供給モジュール『VDM300』 製品画像](https://images.ipros.jp/public/product/image/e8e/2000594636/IPROS80117833011354982262.png?w=140&h=140)
【特長】
■流量レンジ:3 slpm(DIW蒸気)
■優れた流量精度を実現する直接水蒸気測定
■プラント内純水供給装置に直接接続
■最低温度(非過熱状態)でも動作可能
■水洗および排水用に最適な設計
■EtherCATデジタルコミュニケーション
■Brooks Expert Support Tool (BEST)グラフィカルインターフェース
※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。
■流量レンジ:3 slpm(DIW蒸気)
■優れた流量精度を実現する直接水蒸気測定
■プラント内純水供給装置に直接接続
■最低温度(非過熱状態)でも動作可能
■水洗および排水用に最適な設計
■EtherCATデジタルコミュニケーション
■Brooks Expert Support Tool (BEST)グラフィカルインターフェース
※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。