【特長】
■流量レンジ:3 slpm(DIW蒸気)
■優れた流量精度を実現する直接水蒸気測定
■プラント内純水供給装置に直接接続
■最低温度(非過熱状態)でも動作可能
■水洗および排水用に最適な設計
■EtherCATデジタルコミュニケーション
■Brooks Expert Support Tool (BEST)グラフィカルインターフェース
※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。
■流量レンジ:3 slpm(DIW蒸気)
■優れた流量精度を実現する直接水蒸気測定
■プラント内純水供給装置に直接接続
■最低温度(非過熱状態)でも動作可能
■水洗および排水用に最適な設計
■EtherCATデジタルコミュニケーション
■Brooks Expert Support Tool (BEST)グラフィカルインターフェース
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