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最終更新日:
2024-02-06 14:39:05.0
上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
半導体用途専用に設計された、初めての完全圧力非感応型PMFCです。
メタルシール、デジタル、超高純度圧力ベース
ガスマスフローコントローラ
GP200の独自の差圧技術と最先端のセンサー・バルブ構成により、従来の圧力ベースの マスフローコントローラ の限界を取り除き、業界で最も広範囲かつ正確なプロセスガスコントロールを可能にします。
Brooksは世界で初めてガス種と流量範囲の再設定が可能なMFCを開発し、リリース以降もガスモデルを刷新し続けており、同じ機能がGP200にも組み込まれています。多くのガス種と幅広い流量範囲への再設定を容易に行うことができ、幅広いプロセスに柔軟に対応します。
GP200の超高速で再現性の高いバルブコントロールと圧力変動耐性により、極端に供給圧力が変動した場合でも、チャンバーへの精密な流量制御を維持し、よりタイトなプロセス制御を可能にします。GP200プラットフォームは幅広いプロセス条件をサポートし、従来の圧力ベースのマスフローコントローラの多くを交換または、アップグレードすることが可能です。
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