ITWジャパン株式会社

マスフローコントローラ/メータ『GF40シリーズ』

最終更新日: 2022-03-16 15:03:16.0
デバイス1台でさまざまなガスと流量に対応し、柔軟な対応を実現しました!

『GF40シリーズ』は、当社独自のMultiFloテクノロジーを搭載したサーマル式のマスフロー
コントローラ/メータです。

さまざまなガスを使用する場合、ガスの種類を頻繁に変更する場合、制御精度は維持したまま、
フルスケールレンジを変更する必要のあるシステムやプロセスに好適です。

MultiFloテクノロジーは、比類のない柔軟性を提供します。
1台のデバイスで、数千パターンの異なるガス・流量範囲の組み合わせに対応しています。

【特長】
■専用のソフトウェアで設定変更が可能な、マルチガス/マルチレンジ機能
■エラストマシールのオプションが豊富ため、さまざまなガスに対応
■長期安定性に優れたハステロイ製センサを採用
■実ガス試験に基づく100種類以上のガスデータを搭載
■負荷の高いアプリケーションでも、1秒未満の応答時間とセットポイント
 ±1%の制御精度を実現

※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報

【その他の特長】
■ツールの通信系から独立した、アクセスしやすい診断サービスポートを搭載
 Brooks Expert Support Tool と MultiFlo Configurator の2種類の弊社専用ソフトウェアに対応
■耐腐食性センサにより、最大級の稼働率とスループットを保証するセンサの長期安定性を提供
■DeviceNet、EtherCAT、Profibus、RS-485/アナログインターフェースなど、
 豊富な通信オプション
■ユーザー様の所有するガス種と流量レンジが固定されたMFC/MFMの予備品や在庫の削減

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価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 【用途】
■太陽電池CVD(化学蒸着)システム
■ライフサイエンスバイオリアクタ
■真空プロセス
■ナノテクノロジー/MEMS製造
■プラズマ、ガラス、ウェブ被膜システム
■マニホールド/ガス供給システムの選択肢

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