最終更新日:
2024-03-21 14:30:37.0
すべてを可能にするMFC
超高速応答時間と高レベルな清浄度を備えた『GF125シリーズ』は、第二世代の多変量計測、PTI（圧力変動耐性）メタルシールマスフローコントローラです。圧力と温度の変動によるプロセスガス流量の変動を最小限に抑制します。標準のMultiFlo テクノロジーにより、ガスラインから切り離したり、精度を犠牲にすることなく、数千種類ものガスタイプとレンジの組み合わせをサポートします。
その結果、 収率と生産性を最大限に拡張する業界最高のPTI性能とともに、各ポイントの圧力レギュレータ、圧力トランスデューサ、関連するハードウェア設置の必要性を減らすことにより、ガスパネルのサイズとコストを縮小します。
【特長】
■長期的なゼロ点安定性：0.5％フルスケール/年以下
■セトリングタイム：300 ms - 700 ms以下
■フルスケール流量レート 最大300 slpm
■メタルシール流路：4µ インチ Raの表面仕上げ
■SEMI F20準拠接ガス･接液部材質
■耐腐食ハステロイ(R) 製T-Riseセンサ など
※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。
基本情報
【メリット】
■半導体業界の標準に合わせた連続テストを実行した高性能部品
■パージ時におけるドライダウン時間を短縮
■新しいプロセスガスおよび/またはレンジを60秒以下で設定可能
■ブランドを含むメタルシールMFCの不意の置き換えやアップグレードにも対応
■便利なユーザー表示と独立した診断/サービスポート など
※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | モデル GF125 / GF126 |
| 用途／実績例 | 【用途】 ■半導体エッチングツール ■MOCVD ■高清浄オールメタル流路が必要なガス流量制御アプリケーション ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。 |
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