イワキフォトレジストディスペンスポンプ　PDSシリーズ

最終更新日: 2024-04-26 11:56:02.0

イワキフォトレジストディスペンスポンプ　PDSシリーズ
再現性±0.3%（F.S.）以下、大幅な省レジストを実現

■□■特長■□■

■大幅な省レジスト

■多様なコートプロセスに対応

■ダウンタイムの短縮

■コンタミフリー

■高粘度用途に対応（PDS-H115)

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関連情報

イワキフォトレジストディスペンスポンプ　PDSシリーズ

PDS-105R
【概略仕様】（50/60Hz）
■吐出量：5.0mL/shot
■最高吐出速度：0.1〜4.0mL/sec
■吸込み速度：0.1〜3.0mL/sec
■最高吐出圧力：0.15MPa
■繰返し精度：±0.3%以下（F.S.）
■最高取扱い液粘度：200mPa·s

PDS-H115
【概略仕様】（50/60Hz）
■吐出量：12.0mL/shot
■吐出速度：0.5〜2.0mL/sec
■吸込み速度：0.3〜2.0mL/sec
■最高吐出圧力：1.0MPa
■繰返し精度：±0.5%以下（F.S.）
■取扱い液粘度範囲：100〜10,000mPa·s

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