<特徴>
1.耐食性の向上(パーティクル発生量の低減)
2.溶出金属の低減
3.オゾン分解反応の抑制(高濃度オゾンの維持)
4.真空排気特性(ビルドアップ特性)の改善
5.副生成物の付着抑制
※詳しくはカタログをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
1.耐食性の向上(パーティクル発生量の低減)
2.溶出金属の低減
3.オゾン分解反応の抑制(高濃度オゾンの維持)
4.真空排気特性(ビルドアップ特性)の改善
5.副生成物の付着抑制
※詳しくはカタログをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。