上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
２．たわみにくい
３．振動減衰性が良い
４．熱収縮が少ない
５．熱伝導が良い
関連情報
【動画】複合材料MMCの優れた振動減衰性をご覧下さい
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●当社MMC（金属とセラミックスの複合材料）は、
アルミ合金または金属シリコンをマトリックス材として、
その中に各種セラミックス強化材を複合化させた新素材です。
●軽くて剛性があり振動減衰性に優れた材料です。
装置の可動部にお使いいただくことにより、装置性能がアップします。
●◎●◎●◎●材料特性でお困りの方は是非問合せください●◎●◎●◎●
金属セラミックス複合材料『MMC』
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●弊社MMC（金属セラミックス複合材料）は、アルミ合金または金属シリコンをマトリックス材として、セラミックス強化材を複合化させた新素材です。
◆溶融金属とセラミックス強化材との濡れ性改善により、セラミックス含有率30～75vol％のMMCが製造可能です。
◆液晶基板の大型化、製造装置高速化のニーズに対して、従来材料にはないMMCの特性が問題を解決いたします。
◆高熱伝導、低熱膨張の放熱材料として、IGBT等のパワー半導体の熱引き対策など、お引合が多数寄せられてます。
◆セラミックスに金属を複合することにより電気抵抗率を下げられます。
◆セラミックス部品の大型化や破壊靭性アップにMMCをご活用下さい。
●◎●◎●◎●材料特性でお困りの方は是非問合せください●◎●◎●◎●
装置性能が変わる！ 金属セラミックス複合材料 MMC
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【SA301】
複合比率 アルミ７：SiCセラミックス３のMMC。
鋳造法で作られ、複雑形状や大型品にも対応します。
【SA701】
複合比率 アルミ３、SiCセラミックス７のMMC。
弊社独自の製法で作られ、アルミ並みの軽さで、鉄より高いヤング率を持ちます。
【SA001】
金属シリコンとアルミの複合材料。アルミより軽く、ヤング率はアルミの1.7倍。易加工性MMCです。
●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
【鉄の剛性で約1/3の軽さ！】金属セラミックス複合材料『MMC』
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＜シリーズラインアップ＞
■SAシリーズ 鋳造(SA301、SA401)
アルミニウム合金の中にSiCセラミックス粒子を30～40vol％含有させた複合材料
■SAシリーズ 浸透(SA701)
SiCセラミックス多孔体(70vol％)にアルミニウムを含浸させた複合材料
■SSシリーズ 浸透(SS501、SS701)
SiCセラミックス多孔体(50～70vol％)に金属シリコンを含浸させた複合材料
【新製品】アルミの軽さ剛性1.5倍 スーパーマテリアルSA151
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＜MMCシリーズラインアップ＞
■SAシリーズ鋳造(SA151、SA301、SA401)
アルミニウム合金にSiCセラミックス粒子を15～40vol％含有させた複合材料
■SAシリーズ浸透(SA701)
SiCセラミックス多孔体(70vol％)にアルミニウムを含浸させた複合材料
■SSシリーズ浸透(SS501、SS701、SS702)
SiCセラミックス多孔体(50～75vol％)に金属シリコンを含浸させた複合材料
金属セラミックス複合材料ＭＭＣ 採用事例／採用効果
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＜複合材料ラインアップ＞
■SAシリーズ 鋳造(SA301、SA401)
アルミニウム合金の中にSiCセラミックス粒子を30～40vol％含有
■SAシリーズ 浸透(SA701)
SiCセラミックス多孔体(70vol％)にアルミニウムを含浸
■SSシリーズ 浸透(SS501、SS701)
SiCセラミックス多孔体(50～70vol％)に金属シリコンを含浸
※各材料の特性値はＭＭＣカタログを参照ください。
ウェハチャック SiC/Si複合材料による改善事例
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＜複合材料ラインアップ＞
■SAシリーズ 鋳造(SA301、SA401)
アルミニウム合金の中にSiCセラミックス粒子を30～40vol％含有
■SAシリーズ 浸透(SA701)
SiCセラミックス多孔体(70vol％)にアルミニウムを含浸
■SSシリーズ 浸透(SS501、SS701)
SiCセラミックス多孔体(50～70vol％)に金属シリコンを含浸
【新製品】高剛性アルミ合金MA101
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■高剛性アルミ合金 MA101
・密度：2.9 g/cm^3
・ヤング率：95 GPa
・ポアソン比：0.3
・熱膨張係数：17×10^-6 /K
・体積固有抵抗：1x10^-5 Ω・cm
設備導入による高精度化～Zygoレーザー干渉計、超精密平面研削盤
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【新規導入設備スペック】
レーザー干渉計
・カメラ画素数：1,200x1,200画素
・波長λ：633nm
・再現性：0.06nm,λ/10,000（2δ）
・測定レンジTF：450mm
・測定レンジRF：1,000mm
超精密平面研削盤
・テーブル作業面：2,000x600mm
・ストローク：X：2,600mm Y：625mm Z：720mm
【お役立ち情報】アルミナ代替 複合材料SA701
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●SA701は、SiCセラミックスの多孔体にアルミを含浸させて作られる、SiC70%、アルミ30%の複合材料です。
＜製作可能サイズ＞
・1600mmx1400mmx60mm
＜特性値＞
・密 度 ：3.0 g/cm^3
・曲げ強度：340 MPa
・ヤング率：260 GPa
・比剛性 ：86.7 N・m/kg
・破壊靭性：8 MPa・m^(1/2)
・熱膨張係数：7.0x10^-6 /K
・熱伝導率：160 W/m・K
・体積固有抵抗：＞1×10^-5
＜特 長＞
・軽量高剛性
・高靭性で割れにくい
・部品大型化が容易
・高熱伝導、低熱膨張
・振動減衰性が良い
・直ネジ加工が可能で、金属ブッシュ不要により軽量化が可能
お問い合わせ
※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。
日本ファインセラミックス株式会社
