日本ファインセラミックス株式会社

太陽電池製造装置向け 複合材料MMC

最終更新日: 2024-03-29 08:10:28.0

  • カタログ

セラミックスを超える高熱伝導!シリコン並みの低熱膨張を実現!

SiCセラミックスと金属シリコンを複合することにより、セラミックスを超える高熱伝導とシリコン並みの低熱膨張を実現しました。
SiCやAlNを超える熱伝導率!
複合比率を変更することにより、さまざまな特性を実現できます。
表面処理(めっき)が可能で、静電チャックにも使用可能です。
セラミックスよりも大型化が可能です。

SiCとアルミの組み合わせもラインナップしてます。

●●●詳しくはPDFカタログを参照ください。●●●

SiCとシリコンの複合材料
製品名 SS501~SS702 SiC比率50~75%

SiCとアルミの複合材料
製品名 SA301~SA701 SiC比率30~70%
価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
型番・ブランド名 SS501,SS701,SS702,SA301,SA401,SA701
用途/実績例 太陽電池製造装置用サセプター、セッター、トレイ、大型枠(額縁形状)

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