要求仕様に応じ多様な機器構成を行います。
プロセスから排出される微圧のヘリュームガスを、真空ポンプにて
0.03MPa程度に初段回収し、二段目で0.5-0.6MPaに昇圧、さらにガスブースターで数MPa~数十MPaまで昇圧充填します。
顧客の要求仕様に必要な機器の全てを使用し装置製作を承ることは勿論のこと、最終段の昇圧ユニットのみを承ることも問題ございません。
プロセスから排出される微圧のヘリュームガスを、真空ポンプにて
0.03MPa程度に初段回収し、二段目で0.5-0.6MPaに昇圧、さらにガスブースターで数MPa~数十MPaまで昇圧充填します。
顧客の要求仕様に必要な機器の全てを使用し装置製作を承ることは勿論のこと、最終段の昇圧ユニットのみを承ることも問題ございません。