■製品は複ダイアフラム式構造で、適正な面積と柔軟な素材により感度特性は31Pa～127Paと超高感度です。
■当製品は分析装置サンプルガス導入系制御、搬送系制御や各種試験装置、半導体製造装置及びタイヤ工場における加硫機制御等様々な用例にご利用頂いております。
■使用方法は二種ございます。
a) 一つは真空容器の外側に配管し、大気若しくは正圧を真空側に送出する方法。
b) 真空容器と真空ポンプ間のバイパス系に取付ける方法があります。
また他の配管方法では、用例により正圧・負圧の両域に渡る制御を要する場合にも当製品は対応する事が可能です。
！詳しくはお問い合わせ頂くか、カタログをダウンロードください！
■当製品は分析装置サンプルガス導入系制御、搬送系制御や各種試験装置、半導体製造装置及びタイヤ工場における加硫機制御等様々な用例にご利用頂いております。
■使用方法は二種ございます。
a) 一つは真空容器の外側に配管し、大気若しくは正圧を真空側に送出する方法。
b) 真空容器と真空ポンプ間のバイパス系に取付ける方法があります。
また他の配管方法では、用例により正圧・負圧の両域に渡る制御を要する場合にも当製品は対応する事が可能です。
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