★ラミナーフロー方式(差圧式)により高速応答を実現。 ★流量変化にすばやく追従。リアルタイムに流量の確認ができます。 ★精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。 ★さらに精度の高い ±(0.4% Reading + 0.2% F.S.) のご指定も可能です。 ★繰り返し性 ±0.2% F.S. により安定した流量を確認できます。 ★混合ガスを含め98種類のガスが1台で計測が可能です。ガスの選択はフロントのスイッチ操作で簡単に行えます。 ★バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ★腐食性ガス/冷媒ガスにも対応 詳しくはお問い合わせいただくかカタログをダウンロードください。
100msの制御応答、±(0.8% RD + 0.2% FS) の高い流量精度、アナログ出力、RS-232C通信を標準搭載
★ラミナーフロー方式(差圧式)により高速応答を実現。
★流量変化にすばやく追従。高速制御応答により希望の流量を短時間で得ることができます。
★流量設定はフロントスイッチ操作のほか、アナログ入力、 RS-232C通信による設定も可能です。
★質量流量 0-5VDC 出力を標準搭載。0-10VDC、1-5VDC、4-20mADCのご指定も可能です。また追加でアナログ第2出力も可能です。
★微少の 0.5SCCM タイプから大流量の 5000SLPM タイプまで幅広くラインナップ。
★混合ガスを含め98種類のガスが1台で制御が可能です。ガスの選択はフロントのスイッチ操作で簡単に行えます。
詳しくはお問い合わせいただくかカタログをダウンロードください。
関連資料
- Alicat-MFC_Rev9.pdf[2MB]
関連リンク
お問い合わせ
※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。
ジャパンコントロールス 「Japan Controls Co. Ltd.」株式会社 東京本社