フェアチャイルド社製真空制御用レギュレータは極めて高い感度特性を持ち、大気圧近辺の浅い真空域から最大-736kPaまで制御することが可能です。製品シリーズはモデル16及び大流量型モデル1600Aからなり、何れも繰返し特性に優れ、安定した制御を保証します。
基本情報
製品は複ダイアフラム式構造で、適正な面積と柔軟な素材により感度特性は31Pa~127Paと超高感度です。当製品は分析装置サンプルガス導入系制御、搬送系制御や各種試験装置、半導体製造装置及びタイヤ工場における加硫機制御等様々な用例にご利用頂いております。
使用方法は二種ございます。一つは真空容器の外側に配管し、大気若しくは正圧を真空側に送出する方法、若しくは真空容器と真空ポンプ間のバイパス系に取付ける方法があります。
また他の配管方法では、用例により正圧・負圧の両域に渡る制御を要する場合にも当製品は対応する事が可能です。
価格情報 | @\83,000~@\210,000 上記は一般販売価格です。数量により価格が変動致しますのでお問い合わせ下さい。 |
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価格帯 | 1万円 ~ 10万円 |
納期 |
~ 1ヶ月 ※ モデル16は通常在庫品です。 |
型番・ブランド名 | モデル16、モデル1600A |
用途/実績例 | 分析装置のサンプルガス導入系を初め各種試験装置への採用が多くあり、最近は大気圧近辺の浅い真空制御を安定且つ良好な繰返し性が要求される用例にも継続して利用頂いております。 本来、当製品は計装系の清浄な環境での使用を前提としておりましたが、実用例としてタイヤ工場における厳しい環境の加硫機制御用として拡大利用されております。 |
ラインナップ
型番 | 概要 |
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Model 16 | 高感度真空レギュレータ。設定範囲は真空から最大1MPaまで。流量は真空制御時70l/分ANR最大、正圧制御時1100l/分ANR最大。 |
Model 1600A | 高感度(254Pa)で大流量型(800l/分ANR)の真空レギュレータです。 |
詳細情報
モデル16及び1600Aシリーズは真空並びに正圧設定を行うことのできる両用型です。真空も正圧の何れも高感度特性により精密制御を行う事ができ、配管接続口の選択によりそれぞれの用例に対応します。
Fig2は真空専用接続方法で、応答性や排気速度は真空ポンプの能力にのみ関連します。この接続により迅速な設定を行う事が可能です。
Fig3は正負圧両用設定時の配管です。
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