フェアチャイルド社製『真空制御用レギュレータ』は、極めて高い感度特性で
大気圧近辺の浅い真空域から最大-96.8kPaまで制御可能です。
ラインアップは4種で、いずれも繰返し特性に優れ、安定した制御を実現!
複ダイアフラム式構造で、適正な面積と柔軟な素材により
感度特性は125Paと超高感度です。
分析装置サンプルガス導入系制御、搬送系制御や各種試験装置、
半導体製造装置及びタイヤ工場における加硫機制御など多用途で活躍しています。
使用方法は2種類で、
真空容器の外側に配管し、大気または正圧を真空側に送出する方法と、
真空容器と真空ポンプ間のバイパス系に取付ける方法があります。
※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
基本情報
【実績】
分析装置のサンプルガス導入系をはじめ、各種試験装置への採用が多くあり、
最近は大気圧近辺の浅い真空制御を安定かつ良好な繰返し性が要求される用例にも
継続して利用頂いております。
本来、当製品は計装系の清浄な環境での使用を前提としておりましたが、
実用例としてタイヤ工場における厳しい環境の加硫機制御用として拡大利用されております。
【利用業種】
ゴム製品、樹脂・プラスチック、産業用機械、ロボット、食品機械、機械要素・部品、
電子部品・半導体、自動車・輸送機器、航空・宇宙、試験・分析・測定、医療機器
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価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | ※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。 |
ラインナップ
型番 | 概要 |
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Model 16 | 高感度真空レギュレータ。設定範囲は真空から最大1MPaまで。流量は真空制御時70L/分ANR最大、正圧制御時1100L/分ANR最大。 |
Model 17 | 真空域専用レギュレータです。設定範囲は0~-100kPa、真空源の変動の影響はわずかに0.1%以下と極めて安定性が高い製品です。 |
Model 18 | 真空リリーフ弁です。設定範囲は0~-14kPa、0~-70kPa、0~-100kPaの三種あり、設定感度は32Pa以下です。 |
Model 1600A | 高感度(254Pa)で大流量型(800L/分ANR)の真空レギュレータです。設定範囲は真空から最大1MPa。 |
お問い合わせ
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