■基本仕様
・材質:ダイシング用リングフレーム
・サイズ:標準6インチwafer用(各種サイズに対応)
・処理ステーション数:1チャンバー(増設可)
・スクラブ機能:高圧ジェット
・処理液:有機系剥離液・純水
・薬液供給:薬液の循環回収・濾過
・処理能力:60枚/時
・搬送ロボット:搬送ユニット
・スピンチャック:メカニカルチャック
・搬送ロボット:センタリング機能付スカラーロボット
・装置寸法(WxDxH):1,000x1,500x2,000mm
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
・材質:ダイシング用リングフレーム
・サイズ:標準6インチwafer用(各種サイズに対応)
・処理ステーション数:1チャンバー(増設可)
・スクラブ機能:高圧ジェット
・処理液:有機系剥離液・純水
・薬液供給:薬液の循環回収・濾過
・処理能力:60枚/時
・搬送ロボット:搬送ユニット
・スピンチャック:メカニカルチャック
・搬送ロボット:センタリング機能付スカラーロボット
・装置寸法(WxDxH):1,000x1,500x2,000mm
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。