JFE商事エレクトロニクス株式会社

プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室

高田工業所製ダイシングフレーム洗浄装置

最終更新日: 2022-09-08 17:10:22.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

関連情報

高田工業所社製ダイシングフレーム洗浄装置『TFCシリーズ』
高田工業所社製ダイシングフレーム洗浄装置『TFCシリーズ』 製品画像
■基本仕様
・材質:ダイシング用リングフレーム
・サイズ:標準6インチwafer用(各種サイズに対応)
・処理ステーション数:1チャンバー(増設可)
・スクラブ機能:高圧ジェット
・処理液:有機系剥離液・純水
・薬液供給:薬液の循環回収・濾過
・処理能力:60枚/時
・搬送ロボット:搬送ユニット
・スピンチャック:メカニカルチャック
・搬送ロボット:センタリング機能付スカラーロボット
・装置寸法(WxDxH):1,000x1,500x2,000mm

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