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カタログ発行日:2023.03.30
微細 高純度 α相/β相 窒化ケイ素(Si3N4)粉末。 ミクロンスケールで、粒度カスタマイズに対応いたします。 ■製品スペック(COA : 量産品代表値。)<α相 D50=1μm - 2μm品の場合>
Si3N4 純度:≧99.9%
α相 > 90.0%
不純物濃度(ICP-MS)
Fe=45ppm Al=14ppm Ni=11ppm W= 9ppm Zn=<1ppm Ca=<1ppm
C/O濃度測定(赤外線吸収法)
C=0.06wt%
O=1.16wt%
粒度(レーザー回析・散乱法)
D10=0.40µm
D50=1.42µm
D90=5.07µm
<β相 D50=1μm - 2μm品の場合>
Si3N4 純度:≧99.9%
β相 > 99.0%
不純物濃度(ICP-MS)
Fe=81ppm Al=5ppm Ni=<5ppm W=<10ppm Zn=<5ppm Ca=<5ppm
C/O濃度測定(赤外線吸収法)
C=0.12wt%
O=1.11wt%
粒度(レーザー回析・散乱法)
D10=0.63µm
D50=1.33µm
D90=5.65µm
関連情報
微細 高純度 α相/β相 窒化ケイ素(Si3N4)粉末
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■製品スペック(COA : 量産品代表値。)
<α相 D50=1μm - 2μm品の場合>
Si3N4 純度≧99.9%
α相>90.0%
不純物濃度(ICP-MS)
Fe=45ppm
Al=14ppm
Ni=11ppm
W= 9ppm
Zn=<1ppm
Ca=<1ppm
C/O濃度測定(赤外線吸収法)
C=0.06wt%
O=1.16wt%
粒度(レーザー回析・散乱法)
D10=0.40µm
D50=1.42µm
D90=5.07µm
<β相 D50=1μm - 2μm品の場合>
Si3N4 純度≧99.9%
β相>99.0%
不純物濃度(ICP-MS)
Fe=81ppm
Al= 5ppm
Ni=<5ppm
W=<10ppm
Zn=<5ppm
Ca=<5ppm
C/O濃度測定(赤外線吸収法)
C=0.12wt%
O=1.11wt%
粒度(レーザー回析・散乱法)
D10=0.63µm
D50=1.33µm
D90=5.65µm
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