常陽工学株式会社

『卓上真空貼合装置』

最終更新日: 2023-10-17 10:41:23.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

研究開発(要素技術)に最適!
・微粘着パッドにより真空中でガラス基板を保持し、下基板に気泡レスで貼り付けます。
・貼り付け動作は精密Zステージを電動操作。
・上ステージは石英ステージを採用。貼合状態の観察と真空中でのUV照射が可能です。
・上下ステージをMax120℃のヒーター内蔵タイプに変更も可能。

関連情報

卓上真空ラミネーター 真空貼合装置
卓上真空ラミネーター 真空貼合装置 製品画像
基板サイズ:20mm×20mm~120mm×120mm 
上ステージ:石英(UV照射エリア110mmロ)
下ステージ:アルミ
加圧力:40kgf 自動制御
加圧プロセス:ロードセル搭載 信号を読み取り2段加圧プロセス等対応可能
到達真空度:10Pa以下 真空度調整用リークバルブ付き
設置スペース:フットプリント270mm×440mmの省スペース設計
卓上真空ラミネーター(A1タイプ) 真空貼合装置
卓上真空ラミネーター(A1タイプ) 真空貼合装置 製品画像
基板サイズ:20mm×20mm~120mm×120mm 
上ステージ:石英(UV照射エリア110mmロ)
下ステージ:アルミ
チャンバー蓋開閉:分割式
加圧力:4kgf
ロードセル:無し
Z軸:手動
真空計:プルドン
ヒーター:無し
卓上真空ラミネーター(A2タイプ) 真空貼合装置
卓上真空ラミネーター(A2タイプ) 真空貼合装置 製品画像
基板サイズ:20mm×20mm~120mm×120mm 
上ステージ:石英(UV照射エリア110mmロ)
下ステージ:アルミ
チャンバー蓋開閉:分割式
加圧力:40kgf
ロードセル:有り
Z軸:手動
真空計:ピラニー
ヒーター:無し
卓上真空ラミネーター(B1タイプ) 真空貼合装置
卓上真空ラミネーター(B1タイプ) 真空貼合装置 製品画像
基板サイズ:20mm×20mm~120mm×120mm 
上ステージ:石英(UV照射エリア110mmロ)
下ステージ:アルミ
チャンバー蓋開閉:ヒンジ式
加圧力:4kgf
ロードセル:無し
Z軸:手動
真空計:プルドン
ヒーター:無し
卓上真空ラミネーター(B2タイプ) 真空貼合装置
卓上真空ラミネーター(B2タイプ) 真空貼合装置 製品画像
基板サイズ:20mm×20mm~120mm×120mm 
上ステージ:石英(UV照射エリア110mmロ)
下ステージ:アルミ
チャンバー蓋開閉:ヒンジ式
加圧力:40kgf
ロードセル:有り
Z軸:手動
真空計:ピラニー
ヒーター:無し
卓上真空貼合装置(B3タイプ)
卓上真空貼合装置(B3タイプ) 製品画像
基板サイズ:20mm×20mm~120mm×120mm 
上ステージ:石英(UV照射エリア110mmロ)
下ステージ:アルミ
チャンバー蓋開閉:ヒンジ式
加圧力:40kgf
ロードセル:有り
Z軸:自動
真空計:ピラニー
ヒーター:有り
真空貼り合せ装置
真空貼り合せ装置 製品画像
【3つの貼り合せ機構】
■フレキシブル基板の貼り合せ(線接触貼り合せ)
■3D形状(曲面)、2.5D形状(湾曲面)の貼り合せ(3D/2.5D貼り合せ)
■フラット形状の貼り合せ(平面貼り合せ)

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
卓上真空貼合装置
卓上真空貼合装置 製品画像
基板サイズ:20mm×20mm~120mm×120mm 
上ステージ:石英(UV照射エリア110mmロ)
下ステージ:アルミ
加圧力:40kgf 自動制御
加圧プロセス:ロードセル搭載 信号を読み取り2段加圧プロセス等対応可能
到達真空度:10Pa以下 真空度調整用リークバルブ付き
設置スペース:フットプリント270mm×440mmの省スペース設計
真空貼り合せ装置 基本仕様 真空貼合装置
真空貼り合せ装置 基本仕様 真空貼合装置 製品画像
平面貼り合せ方式(真空)
従来より高い平面精度と高精度アライメント(±1μm)で真空貼り合せを行います。LCD、OLED、Micro LED、有機系太陽電池などの封止に最適です。

エアーバッグ貼り合せ方式(真空)
真空下で接触後、高圧(Max:0.4MPa)で加圧するため、気泡無く曲面に追従した貼り合せが出来ます。曲面デザインの車載インパネとフレキシブルディスプレイの貼り合せに最適です。

線接触貼り合せ方式(大気・真空)
真空下(1Pa)での貼り合せが可能なため、貼り合せ条件に左右されずに良品が作れます(従来は大気下での貼り合せが主流)。フラットなカバーガラスとフレキシブルなタッチパネル・フィルムの貼り合せに最適です。

機構の呼称は複数存在しているため、検索用に記載します。ベローズ、ダイアフラム、ダイヤフラム、エアーバック、エアーバッグ、エアバック、エアーバッグ。
対策!!酸素阻害 デジタルピラニ真空計付き真空搬送ボックス
対策!!酸素阻害 デジタルピラニ真空計付き真空搬送ボックス 製品画像
・到達真空度:10Pa

・概算寸法:有効内寸:130(D)×160(W)×125(H)mm
        外寸:194D×224W×173Hmm(突起部除く)

・概算重量:9.2kg(真空計等各機器含む)

上記以外の仕様もご要望に応じてカスタムメイドいたします。
真空ポンプと窒素レギュレーターは別売りとなります。
JOYO 卓上真空貼合装置 真空貼合の瞬間動画
JOYO 卓上真空貼合装置 真空貼合の瞬間動画 製品画像
・微粘着パッドにより真空中でガラス基板を保持し、下基板に気泡レスで貼り付けます。
・貼り付け動作は精密Zステージを電動操作。
・上ステージは石英ステージを採用。貼合状態の観察と真空中でのUV照射が可能です。
・上下ステージをMax120℃のヒーター内蔵タイプに変更も可能。
ワークに対する真空圧と大気圧の影響 卓上真空貼合装置
ワークに対する真空圧と大気圧の影響 卓上真空貼合装置 製品画像
卓上真空貼合装置は、研究開発(要素技術)に最適!です。
・微粘着パッドにより真空中でガラス基板を保持し、下基板に気泡レスで貼り付けます。
・貼り付け動作は精密Zステージを電動操作。
・上ステージは石英ステージを採用。貼合状態の観察と真空中でのUV照射が可能です。
・上下ステージをMax120℃のヒーター内蔵タイプに変更も可能。
JOYO 基礎評価公開動画 卓上真空貼合装置
JOYO 基礎評価公開動画 卓上真空貼合装置 製品画像
・微粘着パッドにより真空中でガラス基板を保持し、下基板に気泡レスで貼り付けます。
・貼り付け動作は精密Zステージを電動操作。
・上ステージは石英ステージを採用。貼合状態の観察と真空中でのUV照射が可能です。
・上下ステージをMax120℃のヒーター内蔵タイプに変更も可能。

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