基板サイズ:20mm×20mm~120mm×120mm
上ステージ:石英(UV照射エリア110mmロ)
下ステージ:アルミ
加圧力:40kgf 自動制御
加圧プロセス:ロードセル搭載 信号を読み取り2段加圧プロセス等対応可能
到達真空度:10Pa以下 真空度調整用リークバルブ付き
設置スペース:フットプリント270mm×440mmの省スペース設計
上ステージ:石英(UV照射エリア110mmロ)
下ステージ:アルミ
加圧力:40kgf 自動制御
加圧プロセス:ロードセル搭載 信号を読み取り2段加圧プロセス等対応可能
到達真空度:10Pa以下 真空度調整用リークバルブ付き
設置スペース:フットプリント270mm×440mmの省スペース設計