- 測定範囲: 250X320mm X x Z
- 測定システム: 各軸光学スケール
- 内部分解能: 0.033μm
- 測定速度: 0.1-3mm/s 自動切り替え
- 移動速度: 最大25mm/s
- プローブアーム: Tシリーズ専用
ソフトウェア補正(先端形状、曲げ補正)
先端R 標準25μm
(1μmから2000μmまで補正可能)
- 制御システム: T&S社コントロールシステム
- 安全装備: 負荷検知装置つき測定ヘッド
ソフト、ハードリミット機能
- 測定テーブル: 200X235mm、13mmY送り付き
- 装置精度: ±0.9+Lmm/100μm L=測定長さ
- 測定システム: 各軸光学スケール
- 内部分解能: 0.033μm
- 測定速度: 0.1-3mm/s 自動切り替え
- 移動速度: 最大25mm/s
- プローブアーム: Tシリーズ専用
ソフトウェア補正(先端形状、曲げ補正)
先端R 標準25μm
(1μmから2000μmまで補正可能)
- 制御システム: T&S社コントロールシステム
- 安全装備: 負荷検知装置つき測定ヘッド
ソフト、ハードリミット機能
- 測定テーブル: 200X235mm、13mmY送り付き
- 装置精度: ±0.9+Lmm/100μm L=測定長さ