【溝の詳細】
■T=標準深さ
■α=立ち上がり角度
■B=溝底幅
■U=製造時の不確かさ(深さ)
■表面の面粗さは、Rz15nm程度
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■T=標準深さ
■α=立ち上がり角度
■B=溝底幅
■U=製造時の不確かさ(深さ)
■表面の面粗さは、Rz15nm程度
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環境エネルギー株式会社