- 半導体やFPD(フラットパネルディスプレイ)の製造プロセスにおいて、各種エッチング液、レジスト剥離液、洗浄液などの優れた機能を持つ特殊な薬品(機能性薬品)が使用されています。関東化学は、長年蓄積したノウハウとアイディアを活かし、各種機能性薬品の開発に積極的に取り組んでいます。
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- ウェーハ用洗浄液『Frontier Cleanerシリーズ』
- ウェーハの微粒子(パーティクル)及び金属不純物を除去。Siウェーハの他、SiCやGaNなどの化合物ウェーハの洗浄に好適です。
- 最終更新日:2024-11-08 09:32:47.0
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- 高純度くえん酸水溶液
- 金属不純物を低減した高純度くえん酸水溶液!
- 最終更新日:2024-11-08 09:32:25.0
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- ガラス基板洗浄液『クレア635N』
- ガラス基板上の微粒子や有機物の除去性に優れた、希釈使用可能な洗浄液!
- 最終更新日:2024-11-08 09:29:22.0
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- 有機EL材料洗浄液『OEL Clean シリーズ』
- メタルマスクや蒸着装置の内部部品などに付着した有機EL材料を容易に洗浄!
- 最終更新日:2024-11-08 09:31:50.0
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- CMP後洗浄液『CMPシリーズ』
- 金属不純物やパーティクルの除去性に優れた各種CMP後洗浄液
- 最終更新日:2024-11-05 15:01:04.0
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