エッチング残渣が少なく高精細なパターニングが可能な金エッチング液！高精細なバンプや配線形成プロセスにおいて優れた加工形状を実現！
『AURUM シリーズ』は、濡れ性が良く、高精細なバンプや配線形成プロセスにおいて優れた加工形状を実現した､液ライフの長いAu薄膜用エッチング液です。
【特徴】
■エッチング残渣が少なく､高精細なパターニングが可能
■シアン化合物を含まず、表面平滑性に優れる
■液ライフが長く､コストリダクションが可能
■毒劇物、危険物、PRTR 規制対象物質に非該当
■Al、Ni、Cr、Ti 等の異種金属に対する選択性が優れる
■Si、ガラスなどの基板にダメージを与えない
高精細向け高エッチングレート品…AURUM-304：約300nm/min(30℃)
高精細向け低エッチングレート品…AURUM-302：約100nm/min(30℃)
をご用意しております。
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| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | AURUMシリーズ |
| 用途／実績例 |
＜適用分野・使用用途例＞ ＊ LSI 用金バンプ ＊ 化合物半導体、水晶振動子、プリンターヘッド、センサー、 MEMS、LED 等の金配線形成 |
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関東化学株式会社 電子材料事業本部
