Ti/Al/Ti積層膜のウェットエッチングが可能なAl積層膜エッチング液
Al積層膜を一液で処理可能なエッチング液です。
これまでウェットエッチングが困難だったTi/Al/Ti積層膜にも適用が可能です。
【特徴】
■Ti/Al/Ti積層膜やMo/Al/Mo積層膜を一括でエッチング可能
■KSMF-100はMo/Al/Mo積層膜の他、Mo単膜やAl単膜の低テーパーエッチング液としても使用可能
■KSMF-260はTi/Al/Ti積層膜のテーパーエッチングが可能
※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
■KSMF-100: Mo/Al/Mo積層膜エッチング液
■KSMF-150: Mo-Nb/Al/Mo-Nb積層膜エッチング液
■KSMF-260: Ti/Al/Ti積層膜エッチング液
※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
■KSMF-150: Mo-Nb/Al/Mo-Nb積層膜エッチング液
■KSMF-260: Ti/Al/Ti積層膜エッチング液
※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
型番・ブランド名 | KSMFシリーズ |
用途/実績例 |
<適用分野・使用用途例> *FPD、電子部品、タッチパネルなど *FPDのTFT電極のパターニングなど |
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お問い合わせ
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関東化学株式会社 電子材料事業本部